グローバル半導体装置サービス
半導体製造装置の部品・保守・改造
熊本からアジアへ。CMP・ETCH・CVD・イオン注入・真空系の部品供給から修理・改造まで、大連・韓国・マレーシア・シンガポールの生産拠点とともに一貫対応します。
- 本社熊本
- 熊本工場阿蘇（開設準備中）
- 生産拠点大連・
韓国・ マレーシア・ シンガポール - 業務拠点新竹（台湾）
- 親会社WUER TECH（シンガポール）
対応プロセス
CMP · ETCH · CVD · Implant主要 OEM
AMAT · EBARA · LAM · SMITグローバル拠点
アジア 6つの国・地域現地対応
熊本市・阿蘇市会社概要
熊本を拠点とする、半導体製造装置のパートナー
29TECH は、半導体製造装置の部品供給・保守・修理・改造を提供します。熊本での現地対応とアジアの生産拠点を組み合わせ、短納期・高品質を実現します。
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 商号 | 二九TECH株式会社（29TECH） |
| 設立 | 2025年9月 |
| 資本金 | 506万円 |
| 法人番号 | 4330001033565 |
| 本社 | 〒860-0802 熊本県熊本市中央区中央街4-22 アルバ銀座通りビル |
| 熊本工場 | 熊本県阿蘇市的石字鬢搔1537番1（開設準備中） |
| 生産拠点 | 大連・韓国・マレーシア・シンガポール |
| 業務拠点 | 新竹（台湾） |
| 親会社 | WUER TECH（シンガポール） |
| 事業内容 | 半導体製造装置の部品供給・保守・修理・改造／精密部品加工・貿易 |
主要 Fab での技術者経験
- 対応プロセス
- CMP · ETCH · CVD · Implant
- 主要 OEM
- AMAT · EBARA · LAM · SMIT
- 現地対応
- 熊本市・阿蘇市
事業領域
6つの事業を、ひとつの窓口で
CMP 修理・オーバーホール
研磨ヘッド・駆動モーター・PC ギア・ロボット ― AMAT Reflexion LK／Mirra、EBARA F-REX300X／300S2。
詳しく見る →02装置改造・スマート化
漏液・流量・温度監視、自動洗浄、スラリー供給系カスタム、装置移設。
詳しく見る →03ESC・ヒーター
LAM エッチ・イオン注入・HDPCVD 向け 300mm 静電チャック ― 新品 2nd source・再生。
詳しく見る →04精密シール・O リング
CMP・エッチ・CVD チャンバー向け FFKM／FKM シール、OEM 品番に対応。
詳しく見る →05真空・ユーティリティ
ドライポンプ・ターボポンプのオーバーホール、振り子弁・真空バルブ修理、チラー。
詳しく見る →06消耗部品・精密加工
Si／SiC リング、金属部品、注入用 W／Mo／グラファイト、金属・樹脂・セラミックのカスタム加工。
詳しく見る →グローバルネットワーク
熊本を拠点に、アジアで一貫生産
日本での現地対応と、アジアに広がる生産体制。グローバルな半導体サプライチェーンをひとつの窓口で支えます。
拠点イメージ図（縮尺は正確ではありません）
本社
熊本（日本）
〒860-0802 熊本県熊本市中央区中央街4-22 アルバ銀座通りビル
営業・技術・お客様窓口
熊本工場
阿蘇（熊本）
熊本県阿蘇市的石字鬢搔1537番1（開設準備中）
修理・リワーク・部品加工 ― 熊本の Fab 近くで対応
生産拠点
大連・韓国
マレーシア
シンガポール
一貫生産：加工・再生・組立・検査
業務拠点
新竹（台湾）
台湾での営業・顧客サポート
親会社
WUER TECH
シンガポール
キーパーツ・材料のグローバル調達
日本のお客様には熊本から現地対応し、量産は大連・韓国・マレーシア・シンガポールの拠点で迅速にスケールアップ。台湾・新竹の業務拠点が営業・サポートを担います。
熊本工場 ― 開設準備中
熊本・阿蘇に自社工場を開設準備中
熊本県阿蘇市的石字鬢搔1537番1
計画中の機能
- 修理・リワークCMP・エッチ・CVD 部品の分解・オーバーホール・ベンチ試験
- 加工・組立・検査精密部品の仕上げ・検証を熊本で実施
- 迅速な現地対応熊本市の本社と連携して対応
CMP サービス
CMP サービス範囲
CMP の駆動モーター・研磨キャリアギア・モジュール修理に対応 ― 保守ニーズの高い領域です。
| 装置 | モジュール／部品 | サービス |
|---|---|---|
| AMAT Reflexion LK | プラテン・キャリアヘッド・コンディショナー駆動モーター | 修理・巻替え・試験 |
| EBARA F-REX300X | トップリング・ターンテーブル・ドレッサー駆動モーター | 修理・巻替え・試験 |
| EBARA F-REX300S II | トップリング・ターンテーブル・ドレッサー駆動モーター | 修理・巻替え・試験 |
| AMAT & EBARA | PC（研磨キャリア）ギア・駆動系 | 修理・交換 |
| EBARA CMP | DDF3 モジュール | オーバーホール・修理 |
ご要望に応じて、他の CMP モジュール・他工程装置へ拡張可能です。
重点対応
駆動・スピンドルモーター・PCギア・DDF3
AMAT Reflexion LK
プラテン・キャリアヘッド・コンディショナー駆動モーター
EBARA F-REX300X／300S2
トップリング・ターンテーブル・ドレッサーのモーター群
PC ギア・DDF3
駆動系の修理・交換、DDF3 オーバーホール
自社設備
装置運用・修理・加工をひとつの拠点で
コア能力
- CMP・CVD・ETCH 部品の修理分解・部品交換・ベンチ試験によるオーバーホール
- モーター・流量計・電源ユニット駆動モーター・流量コントローラ・電源の再生
- 非標準部品加工金属・樹脂・セラミック部品を図面加工
- 装置改造既存装置のレトロフィット・アップグレード
試験・リワーク設備
ポンプ分析・PCB リワーク・機能試験システム ― 修理品は全数、出荷前に検証します。
実績ある CMP 修理・オーバーホール
事例
研磨ヘッド ギア総成のオーバーホール工程
AMAT LK／Reflexion 系 研磨ヘッドギア総成の代表的なオーバーホール工程。
1受入点検・故障診断
2分解・洗浄
3部品交換
4機能・負荷試験
5パッド慣らし・QC
交換部品
ハーモニックドライブ・スイープベアリング・スイープ／回転モーター・オイルシール
検証項目
スイープ・回転電流／トルク・ホームセンサカウント・パッド慣らしトレンド
修理品の検証・試験能力
試験項目
- 機能・負荷試験
- ホームセンサ カウント試験
- 圧力・リーク試験
- パッド慣らし シミュレーション
修理品は全数、専用試験台で検証してから出荷します。
CMP コア部品
CMP コア部品のリファービッシュ
- 部品供給・再生・修理ヘッド・スピンドル・ロボット・ドライバ・ロータリージョイント・ギアボックス
- 装置サービス据付・再生・修理・定期保守・改造
装置改造
CMP 装置の改造・スマート化
- 1圧力検知・データ収集・自動警報（EBARA）
- 2DIW・薬液 漏液検知（AMAT／EBARA）
- 3薬液 流量監視・自動警報
- 4排気オートダンパー制御
- 5セルフクリーン（装置自動洗浄）
- 6温度検知・自動警報（AMAT／EBARA）
- 7CCTV カメラ装置監視（AMAT／EBARA）
- 8カスタム スラリーマニホールド
- 9カスタム ポートサーバー電源
- 10ヘッドスピンドルカバー・スラリーボックス内蔵・UPA 移設
機構設計から供液系まで、お客様・装置ごとにフルカスタム対応。
ESC ｜ 静電チャック
静電チャック（ESC）ソリューション
エッチ・注入・HDPCVD 向け 300mm ESC
- OEM 互換 2nd sourceLAM エッチ・SMIT 注入・AMAT HDPCVD 各プラットフォームに互換
- 新品供給・再生（リファービッシュ）OEM 比でコスト・納期を低減
- 全数 受入検査チャック力・平坦度・リーク・絶縁を1台ずつ検証
- CVD ヒーターにも対応AMAT Producer 系ヒーター
- 技術サポート選定・取付・アフターフォロー
ESC 対応品番（抜粋）
| 工程 | OEM | 機種 | 品番 | サイズ |
|---|---|---|---|---|
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo | 839-019090-324 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo | 839-019090-328 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo 45 | 839-019090-374 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo EX | 839-019090-611 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo CX | 839-019090-608 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo FX | 839-019090-620 / -632 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex 45 | 839-800327-432 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex DX/DS | 839-800327-438 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex ES/EL | 839-019090-577 | 300mm |
| 工程 | OEM | 機種 | 品番 | サイズ |
|---|---|---|---|---|
| ETCH | LAM | 2300 Flex GX/GXE | 839-800327-525 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex HX+ | 839-102001-136 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Syndion FS | 839-800327-304 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Versys Metal | 839-800327-315 | 300mm |
| IMP | SMIT | MC3-II / GP | 11F5793 | 300mm |
| IMP | SMIT | S-UHE | 11G8756 | 300mm |
| HDPCVD | AMAT | Ultima | 0040-48594 | 300mm |
| HDPCVD | AMAT | Ultima | 0040-18219 | 200mm |
掲載は一部です。その他の品番もお問い合わせください。
エッチ・注入・HDPCVD ― 新品 2nd source・再生品、保証12ヶ月、納期20〜60日。
ESC 受入検査基準
| 検査項目 | 規格 |
|---|---|
| チャック力 | ≧ 2,000 gf/cm² @ 2,000 VDC |
| 表面平坦度 | ≦ 10 μm |
| リークレート | ≦ 0.5 mTorr·L/s |
| 絶縁抵抗（電極間） | ≧ 20 GΩ·cm |
| 絶縁抵抗（電極–ベース間） | ≧ 20 GΩ·cm |
| 静電容量 | ≧ 3 nF（±0.5） |
CVD ヒーター
AMAT Producer GT：0010-59798 · 0010-59788
AMAT Producer：0010-53901（300mm）
出荷品には全数、受入検査成績書を添付します。
部品供給
精密シール・O リング
CMP・エッチ・CVD チャンバー向けの高性能フッ素ゴム O リング／シール。OEM 品番にリバースエンジニアリングで対応。
| OEM 品番 | 品名 | サイズ(mm) |
|---|---|---|
| 734-061280-014 | O-ring AS014 | 12.42 × 1.78 |
| 734-007524-284 | O-ring AS284 | 456.06 × 3.53 |
| 734-046356-329 | O-ring AS329 | 50.17 × 5.33 |
| 734-046356-226 | O-ring P50 | 49.70 × 3.50 |
| 734-021063-238 | O-ring AS238 | 88.49 × 3.53 |
| 734-021063-277 | O-ring AS277 | 291.69 × 3.53 |
| 3700-06977 | O-ring AS130 | 40.94 × 2.62 |
代表例。全製品に材質・寸法検査成績書を添付。
材質・グレード
特長
- OEM 品番にリバースエンジニアリング対応
- 耐プラズマ・耐薬品コンパウンド
- ø10mm〜ø450mm 以上
- 材質・サイズのカスタム対応
- 納期 約8週間
消耗部品
Si・SiC 消耗部品
| 種別 | OEM | 品名 | 品番 |
|---|---|---|---|
| Si | LAM | Polished OUE | 716-082039-233 |
| Si | LAM | Polished OUE | 716-082039-235 |
| Si | TEL | Ring, focus 380-T4.0 | 3D10-202489-61 |
| Si | TEL | Electrode, outer DC2 EXT | 2L10-501683-61 |
| SiC | LAM Kiyo | EX top ring 4.5T | 716-089795-124 |
| SiC | LAM Kiyo | Top ring 4.19T | 716-086795-123 |
| SiC | TEL MK4 | Focus ring 3.95T | 1D99-190810-11 |
- エッチ・CVD 用 Si 部品シャワーヘッド・Si リング・CSR、Si 溶融ボート・チューブ・ペデスタル
- CVD SiC フォーカス／エッジリング大半の SiC 部品をリバースエンジニアリング
金属・イオン注入・グラファイト部品
対応イオン注入装置
- AMAT VIISta 900XP
- AMAT VIISta Trident / XP / XP2
- AMAT VIISta HC · MC · HE
- AMAT VIISta MEHD2
- Axcelis Purion H · XE · M
- Nissin Exceed 2000AH / 3000AH
グラファイト W-001 ― 主要特性
- 密度
- 1.91 g/cm³
- 抵抗率
- 12 μΩm
- 灰分
- 0.0005 %
- 熱伝導率
- 105 W/mK
真空・ユーティリティ
真空ポンプ・バルブ・チラーのサービス
ドライポンプ
主要シリーズのオーバーホール・供給 ― Edwards iH／iXH／iQL、Ebara ESA／ESR／EV、Alcatel A／ADS／ADP、Busch。
ターボポンプ・バルブ
STP ターボポンプ修理、振り子弁オーバーホール、真空バルブ修理（リークテスト付）。
チラー
コンプレッサーチラー・熱交換器・熱電チラー、カスタム冷却ソリューション。
ウェット・試験
ウェット工程部品・試験ハードウェア
ウェットエッチ ― スピンベース オーバーホール
- 分解・点検
- 水平・偏心・動バランス・抵抗の検測
- 修理・SOP 組立
- 標準・高温 SPM・裏面洗浄 各タイプ
可視化管理と作業者サインにより、全工程を記録・追跡できます。
試験・信頼性ハードウェア
- HTOL／HAST 信頼性試験向け メモリ用バーンインボード
- ロードボード・プローブカード
- 自社 PCB クローニングによる EM ソケット DUT 製作
品質
材料から出荷まで ― 品質とトレーサビリティ
- 1材料
- 2精密加工
- 3洗浄
- 4組立（SOP）
- 5検査
- 6出荷検証
SOP 標準化作業
可視化管理と作業者サインで組立品質を保証。
4 大検測
水平・偏心・動バランス・電気抵抗を全数検査。
トレーサビリティ
検査記録を一元管理し、帳票・作業者まで追跡可能。
出荷時には検査成績書を添付 ― 世界の主要 Fab が求める品質水準に対応します。
選ばれる理由
29TECH が選ばれる理由
熊本で現地即応
熊本本社と阿蘇の自社工場から、主要 Fab に迅速対応。
グローバル生産体制
日本とアジアの拠点で加工・再生・組立・検査を一貫対応。
実証済みの CMP 技術
ヘッド・モーター・PC ギア・ロボットを試験台で検証。
幅広い部品カバレッジ
ESC・シール・Si／SiC・金属・注入・真空・試験ハードウェア。
リバースエンジニアリング
摩耗品・長納期品を OEM 品番で再設計・製作。
追跡できる品質
SOP 作業・全数検査・成績書添付で出荷。
お問い合わせ
お問い合わせ
部品供給から修理・改造まで ― CMP・ETCH・CVD・注入・真空系のご相談はお気軽に。
生産拠点：大連・韓国・マレーシア・シンガポール ｜ 業務拠点：新竹（台湾） ｜ 親会社：WUER TECH（シンガポール）