글로벌 반도체 장비 서비스
반도체 제조장비부품・유지보수・개조
구마모토에서 아시아로. CMP・식각・CVD・이온주입・진공 장비의 부품 공급부터 수리・개조까지, 다롄・한국・말레이시아・싱가포르 생산 거점과 함께 원스톱으로 대응합니다.
- 본사구마모토
- 구마모토 공장아소 (개설 준비 중)
- 생산 거점다롄・
한국・ 말레이시아・ 싱가포르 - 비즈니스 거점신주 (대만)
- 모회사WUER TECH (싱가포르)
대응 공정
CMP · ETCH · CVD · Implant주요 OEM
AMAT · EBARA · LAM · SMIT글로벌 거점
아시아 6개 국가・지역현지 대응
구마모토시・아소시회사 개요
구마모토 거점의 반도체 장비 파트너
29TECH는 반도체 제조장비의 부품 공급・유지보수・수리・개조를 제공합니다. 구마모토 현지 대응과 아시아 생산 거점을 결합하여 짧은 납기와 높은 품질을 실현합니다.
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 상호 | 二九TECH株式会社 (NIKU TECH CO., LTD.) |
| 설립 | 2025년 9월 |
| 자본금 | 506만 엔 |
| 법인번호 | 4330001033565 |
| 본사 | 〒860-0802 일본 구마모토현 구마모토시 주오구 주오가이 4-22 아루바 긴자도리 빌딩 |
| 구마모토 공장 | 일본 구마모토현 아소시 마토이시 1537-1 (개설 준비 중) |
| 생산 거점 | 다롄・한국・말레이시아・싱가포르 |
| 비즈니스 거점 | 신주 (대만) |
| 모회사 | WUER TECH (싱가포르) |
| 사업 분야 | 반도체 제조장비 부품 공급・유지보수・수리・개조 / 정밀 부품 가공・무역 |
주요 팹 엔지니어 경험
- 대응 공정
- CMP · ETCH · CVD · Implant
- 주요 OEM
- AMAT · EBARA · LAM · SMIT
- 현지 대응
- 구마모토시・아소시
사업 분야
6개 사업, 하나의 창구
CMP 수리・오버홀
연마 헤드・구동 모터・PC 기어・로봇 ― AMAT Reflexion LK / Mirra, EBARA F-REX300X / 300S2.
자세히 보기 →02장비 개조・스마트화
누액・유량・온도 모니터링, 자동 세정, 슬러리 공급계 맞춤 제작, 장비 이설.
자세히 보기 →03ESC・히터
LAM 식각・이온주입・HDPCVD용 300mm 정전척 ― 신품 2nd source 및 재생품.
자세히 보기 →04정밀 씰・O링
CMP・식각・CVD 챔버용 FFKM / FKM 씰, OEM 품번 대응.
자세히 보기 →05진공・유틸리티
드라이 펌프・터보 펌프 오버홀, 펜듈럼 밸브・진공 밸브 수리, 칠러.
자세히 보기 →06소모품・정밀 가공
Si / SiC 링, 금속 부품, 이온주입용 W / Mo / 그라파이트, 금속・수지・세라믹 맞춤 가공.
자세히 보기 →글로벌 네트워크
구마모토 거점, 아시아 일관 생산
일본 현지 대응과 아시아로 펼쳐진 생산 체제. 글로벌 반도체 공급망을 하나의 창구로 지원합니다.
거점 개념도 (축척은 정확하지 않음)
본사
구마모토 (일본)
〒860-0802 일본 구마모토현 구마모토시 주오구 주오가이 4-22 아루바 긴자도리 빌딩
영업・기술・고객 창구
구마모토 공장
아소 (구마모토)
일본 구마모토현 아소시 마토이시 1537-1 (개설 준비 중)
수리・리워크・부품 가공 ― 구마모토 팹 인근에서 대응
생산 거점
다롄・한국・말레이시아・싱가포르
일관 생산: 가공・재생・조립・검사
비즈니스 거점
신주 (대만)
대만 지역 영업・고객 지원
모회사
WUER TECH
싱가포르
핵심 부품・소재 글로벌 조달
일본 고객은 구마모토에서 현지 대응하고, 양산은 다롄・한국・말레이시아・싱가포르 거점에서 신속하게 확대하며, 대만 신주의 비즈니스 거점이 영업・지원을 담당합니다.
구마모토 공장 ― 개설 준비 중
구마모토・아소에 자체 공장 개설 준비 중
일본 구마모토현 아소시 마토이시 1537-1
계획 중인 기능
- 수리・리워크CMP・식각・CVD 부품의 분해・오버홀・벤치 시험
- 가공・조립・검사정밀 부품의 마무리・검증을 구마모토에서 실시
- 신속한 현지 대응구마모토시 본사와 연계하여 대응
CMP 서비스
CMP 서비스 범위
CMP 구동 모터・연마 캐리어 기어・모듈 수리에 대응 ― 유지보수 수요가 가장 높은 분야입니다.
| 장비 | 모듈 / 부품 | 서비스 |
|---|---|---|
| AMAT Reflexion LK | 플래튼・캐리어 헤드・컨디셔너 구동 모터 | 수리・재권선・시험 |
| EBARA F-REX300X | 톱링・턴테이블・드레서 구동 모터 | 수리・재권선・시험 |
| EBARA F-REX300S II | 톱링・턴테이블・드레서 구동 모터 | 수리・재권선・시험 |
| AMAT & EBARA | PC (연마 캐리어) 기어・구동계 | 수리・교체 |
| EBARA CMP | DDF3 모듈 | 오버홀・수리 |
요청에 따라 다른 CMP 모듈・타 공정 장비로 확장 가능합니다.
중점 대응
구동・스핀들 모터・PC 기어・DDF3
AMAT Reflexion LK
플래튼・캐리어 헤드・컨디셔너 구동 모터
EBARA F-REX300X / 300S2
톱링・턴테이블・드레서 모터 계열
PC 기어・DDF3
구동계 수리・교체, DDF3 오버홀
자체 설비
수리・가공을 한 거점에서
핵심 역량
- CMP・CVD・ETCH 부품 수리분해・부품 교체・벤치 시험 오버홀
- 모터・유량계・전원구동 모터・유량 컨트롤러・전원 재생
- 비표준 부품 가공도면 기준 금속・수지・세라믹 부품 가공
- 장비 개조기존 장비 레트로핏・업그레이드
시험・리워크 설비
펌프 분석 스테이션・PCB 레벨 리워크・기능 시험 시스템 ― 수리품은 출하 전 전수 검증합니다.
검증된 CMP 수리・오버홀 실적
사례
연마 헤드 기어 어셈블리 오버홀 공정
AMAT LK / Reflexion 계열 연마 헤드 기어 어셈블리의 대표적인 오버홀 공정.
1입고 점검・고장 진단
2분해・세정
3부품 교체
4기능・부하 시험
5패드 브레이크인・QC
교체 부품
하모닉 드라이브・스윕 베어링・스윕 / 회전 모터・오일 씰
검증 항목
스윕・회전 전류 / 토크・홈 센서 카운트・패드 브레이크인 트렌드
수리품 검증・시험 역량
시험 항목
- 기능・부하 시험
- 홈 센서 카운트 시험
- 압력・리크 시험
- 패드 브레이크인 시뮬레이션
수리품은 전수 전용 시험대에서 검증 후 출하합니다.
CMP 핵심 부품
CMP 핵심 부품 리퍼비시
- 부품 공급・재생・수리헤드・스핀들・로봇・드라이버・로터리 조인트・기어박스
- 장비 서비스설치・재생・수리・정기 보수・개조
장비 개조
CMP 장비 개조・스마트화
- 1압력 감지・데이터 수집・자동 경보 (EBARA)
- 2DIW・약액 누액 감지 (AMAT / EBARA)
- 3약액 유량 모니터링・자동 경보
- 4배기 오토 댐퍼 제어
- 5셀프 클린 시스템 (장비 자동 세정)
- 6온도 감지・자동 경보 (AMAT / EBARA)
- 7CCTV 카메라 장비 모니터링 (AMAT / EBARA)
- 8맞춤형 슬러리 매니폴드
- 9맞춤형 포트 서버 전원
- 10헤드 스핀들 커버・슬러리 박스 내장・UPA 이설
기구 설계부터 슬러리 공급계까지, 고객・장비별 완전 맞춤 대응.
ESC ｜ 정전척
정전척 (ESC) 솔루션
식각・이온주입・HDPCVD용 300mm ESC
- OEM 호환 2nd sourceLAM 식각・SMIT 이온주입・AMAT HDPCVD 각 플랫폼 호환
- 신품 공급・재생 (리퍼비시)OEM 대비 비용・납기 절감
- 전수 입고 검사척력・평탄도・리크・절연을 1대씩 검증
- CVD 히터도 대응AMAT Producer 계열 히터
- 기술 지원선정・설치・애프터서비스
ESC 대응 품번 (발췌)
| 공정 | OEM | 기종 | 품번 | 사이즈 |
|---|---|---|---|---|
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo | 839-019090-324 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo | 839-019090-328 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo 45 | 839-019090-374 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo EX | 839-019090-611 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo CX | 839-019090-608 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo FX | 839-019090-620 / -632 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex 45 | 839-800327-432 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex DX/DS | 839-800327-438 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex ES/EL | 839-019090-577 | 300mm |
| 공정 | OEM | 기종 | 품번 | 사이즈 |
|---|---|---|---|---|
| ETCH | LAM | 2300 Flex GX/GXE | 839-800327-525 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex HX+ | 839-102001-136 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Syndion FS | 839-800327-304 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Versys Metal | 839-800327-315 | 300mm |
| IMP | SMIT | MC3-II / GP | 11F5793 | 300mm |
| IMP | SMIT | S-UHE | 11G8756 | 300mm |
| HDPCVD | AMAT | Ultima | 0040-48594 | 300mm |
| HDPCVD | AMAT | Ultima | 0040-18219 | 200mm |
일부만 게재했습니다. 기타 품번도 문의해 주십시오.
식각・이온주입・HDPCVD ― 신품 2nd source 및 재생품, 보증 12개월, 납기 20〜60일.
ESC 입고 검사 기준
| 검사 항목 | 규격 |
|---|---|
| 척력 | ≥ 2,000 gf/cm² @ 2,000 VDC |
| 표면 평탄도 | ≤ 10 μm |
| 리크율 | ≤ 0.5 mTorr·L/s |
| 절연 저항 (전극 간) | ≥ 20 GΩ·cm |
| 절연 저항 (전극–베이스 간) | ≥ 20 GΩ·cm |
| 정전 용량 | ≥ 3 nF (±0.5) |
CVD 히터
AMAT Producer GT: 0010-59798 · 0010-59788
AMAT Producer: 0010-53901 (300mm)
출하품에는 전수 입고 검사 성적서를 첨부합니다.
부품 공급
정밀 씰・O링
CMP・식각・CVD 챔버용 고성능 불소고무 O링 / 씰. OEM 품번 기준 리버스 엔지니어링으로 대응.
| OEM 품번 | 품명 | 사이즈(mm) |
|---|---|---|
| 734-061280-014 | O-ring AS014 | 12.42 × 1.78 |
| 734-007524-284 | O-ring AS284 | 456.06 × 3.53 |
| 734-046356-329 | O-ring AS329 | 50.17 × 5.33 |
| 734-046356-226 | O-ring P50 | 49.70 × 3.50 |
| 734-021063-238 | O-ring AS238 | 88.49 × 3.53 |
| 734-021063-277 | O-ring AS277 | 291.69 × 3.53 |
| 3700-06977 | O-ring AS130 | 40.94 × 2.62 |
대표 예시. 전 제품에 재질・치수 검사 성적서 첨부.
재질・등급
특징
- OEM 품번 기준 리버스 엔지니어링
- 내플라즈마・내약품 컴파운드
- 사이즈 ø10mm〜ø450mm 이상
- 재질・사이즈 맞춤 대응
- 납기 약 8주
소모품
Si・SiC 소모품
| 종류 | OEM | 품명 | 품번 |
|---|---|---|---|
| Si | LAM | Polished OUE | 716-082039-233 |
| Si | LAM | Polished OUE | 716-082039-235 |
| Si | TEL | Ring, focus 380-T4.0 | 3D10-202489-61 |
| Si | TEL | Electrode, outer DC2 EXT | 2L10-501683-61 |
| SiC | LAM Kiyo | EX top ring 4.5T | 716-089795-124 |
| SiC | LAM Kiyo | Top ring 4.19T | 716-086795-123 |
| SiC | TEL MK4 | Focus ring 3.95T | 1D99-190810-11 |
- 식각・CVD용 Si 부품샤워헤드・Si 링・CSR, Si 퓨전 보트・튜브・페데스탈
- CVD SiC 포커스 / 엣지 링대부분의 SiC 부품 리버스 엔지니어링 대응
금속・이온주입・그라파이트 부품
대응 이온주입 장비
- AMAT VIISta 900XP
- AMAT VIISta Trident / XP / XP2
- AMAT VIISta HC · MC · HE
- AMAT VIISta MEHD2
- Axcelis Purion H · XE · M
- Nissin Exceed 2000AH / 3000AH
그라파이트 W-001 ― 주요 특성
- 밀도
- 1.91 g/cm³
- 비저항
- 12 μΩm
- 회분
- 0.0005 %
- 열전도율
- 105 W/mK
진공・유틸리티
진공 펌프・밸브・칠러 서비스
드라이 펌프
주요 시리즈 오버홀・공급 ― Edwards iH / iXH / iQL, Ebara ESA / ESR / EV, Alcatel A / ADS / ADP, Busch.
터보 펌프・밸브
STP 터보 펌프 수리, 펜듈럼 밸브 오버홀, 진공 밸브 수리 (리크 테스트 포함).
칠러
컴프레서 칠러・열교환기・열전 칠러, 맞춤형 냉각 솔루션.
웨트・시험
웨트 공정 부품・시험 하드웨어
웨트 식각 ― 스핀 베이스 오버홀
- 분해・점검
- 수평・편심・동밸런스・저항 검측
- 수리・SOP 조립
- 표준・고온 SPM・후면 세정 각 타입
가시화 관리와 작업자 서명으로 전 공정을 기록・추적할 수 있습니다.
시험・신뢰성 하드웨어
- HTOL / HAST 신뢰성 시험용 메모리 번인 보드
- 로드 보드・프로브 카드
- 자체 PCB 클로닝 기술로 EM 소켓 DUT 제작
품질
소재부터 출하까지 ― 품질과 추적성
- 1소재
- 2정밀 가공
- 3세정
- 4조립 (SOP)
- 5검사
- 6출하 검증
SOP 표준화 작업
가시화 관리와 작업자 서명으로 조립 품질 보증.
4대 검측
수평・편심・동밸런스・전기 저항 전수 검사.
추적성
검사 기록을 일원 관리하여 양식・작업자까지 추적 가능.
출하 시 검사 성적서 첨부 ― 세계 주요 팹이 요구하는 품질 수준에 대응합니다.
선택 이유
29TECH가 선택받는 이유
구마모토 현지 신속 대응
구마모토 본사와 아소 자체 공장에서 주요 팹에 신속 대응.
글로벌 생산 체제
일본과 아시아 거점에서 가공・재생・조립・검사를 일관 대응.
검증된 CMP 기술
헤드・모터・PC 기어・로봇을 시험대에서 검증.
폭넓은 부품 커버리지
ESC・씰・Si / SiC・금속・이온주입・진공・시험 하드웨어.
리버스 엔지니어링
마모품・장납기품을 OEM 품번 기준으로 재설계・제작.
추적 가능한 품질
SOP 작업・전수 검사・성적서 첨부 출하.
문의
문의하기
부품 공급부터 수리・개조까지 ― CMP・ETCH・CVD・이온주입・진공 관련 상담은 언제든지 문의해 주십시오.
생산 거점: 다롄・한국・말레이시아・싱가포르 | 비즈니스 거점: 신주 (대만) | 모회사: WUER TECH (싱가포르)