全球半导体设备服务
半导体制造设备零部件・维护・改造
从熊本走向亚洲。CMP・刻蚀・CVD・离子注入・真空系统，从零部件供应到维修、改造，依托大连・韩国・马来西亚・新加坡生产基地一站式服务。
- 总部熊本
- 熊本工厂阿苏（筹建中）
- 生产基地大连・
韩国・ 马来西亚・ 新加坡 - 业务据点新竹（台湾）
- 母公司WUER TECH（新加坡）
对应工艺
CMP · ETCH · CVD · Implant主要 OEM
AMAT · EBARA · LAM · SMIT全球据点
亚洲 6 个国家・地区本地响应
熊本市・阿苏市公司概况
立足熊本的半导体设备合作伙伴
29TECH 提供半导体制造设备的零部件供应、维护、维修与改造服务。结合熊本本地响应与亚洲生产基地，实现短交期、高品质。
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 公司名称 | 二九TECH株式会社（29TECH） |
| 成立 | 2025年9月 |
| 注册资本 | 506 万日元 |
| 法人编号 | 4330001033565 |
| 总部 | 〒860-0802 日本熊本县熊本市中央区中央街4-22 アルバ銀座通りビル |
| 熊本工厂 | 日本熊本县阿苏市的石字鬢搔1537番1（筹建中） |
| 生产基地 | 大连・韩国・马来西亚・新加坡 |
| 业务据点 | 新竹（台湾） |
| 母公司 | WUER TECH（新加坡） |
| 业务领域 | 半导体制造设备零部件供应・维护・维修・改造／精密零件加工・贸易 |
主要晶圆厂工程师经验
- 对应工艺
- CMP · ETCH · CVD · Implant
- 主要 OEM
- AMAT · EBARA · LAM · SMIT
- 本地响应
- 熊本市・阿苏市
业务领域
六大业务，一个窗口
CMP 维修・大修
研磨头、驱动电机、PC 齿轮与机械手 ― AMAT Reflexion LK／Mirra、EBARA F-REX300X／300S2。
了解详情 →02设备改造・智能化
漏液、流量、温度监控，自动清洗，浆料供给系统定制，设备搬迁。
了解详情 →03ESC・加热器
用于 LAM 刻蚀、离子注入、HDPCVD 的 300mm 静电吸盘 ― 全新 2nd source 及翻新品。
了解详情 →04精密密封件・O 型圈
用于 CMP、刻蚀、CVD 腔体的 FFKM／FKM 密封件，对应 OEM 料号。
了解详情 →05真空・厂务设备
干泵・分子泵大修，摆阀・真空阀维修，冷水机。
了解详情 →06耗材・精密加工
Si／SiC 环、金属零件、离子注入用 W／Mo／石墨，金属・树脂・陶瓷定制加工。
了解详情 →全球网络
以熊本为据点，在亚洲一体化生产
日本本地服务，亚洲生产网络。以一个窗口支持全球半导体供应链。
据点示意图（比例不准确）
总部
熊本（日本）
〒860-0802 日本熊本县熊本市中央区中央街4-22 アルバ銀座通りビル
销售・技术・客户窗口
熊本工厂
阿苏（熊本）
日本熊本县阿苏市的石字鬢搔1537番1（筹建中）
维修・返工・零件加工 ― 就近服务熊本晶圆厂
生产基地
大连・韩国
马来西亚
新加坡
一体化生产：加工・再生・组装・检验
业务据点
新竹（台湾）
台湾地区业务开发与客户支持
母公司
WUER TECH
新加坡
关键零部件・材料全球采购
日本客户由熊本就近服务；量产在大连・韩国・马来西亚・新加坡基地快速扩产，台湾新竹业务据点负责业务与支持。
熊本工厂 ― 筹建中
正在熊本・阿苏筹建自有工厂
日本熊本县阿苏市的石字鬢搔1537番1
规划功能
- 维修・返工CMP・刻蚀・CVD 部件的拆解・大修・台架测试
- 加工・组装・检验精密零件在熊本完成精加工与验证
- 快速本地支持与熊本市总部联动对应
CMP 服务
CMP 服务范围
可维修 CMP 驱动电机、研磨载具齿轮及模块 ― 维护需求最高的领域。
| 设备 | 模块／部件 | 服务 |
|---|---|---|
| AMAT Reflexion LK | 研磨盘・载具头・修整器驱动电机 | 维修・重绕・测试 |
| EBARA F-REX300X | 顶环・转盘・修整器驱动电机 | 维修・重绕・测试 |
| EBARA F-REX300S II | 顶环・转盘・修整器驱动电机 | 维修・重绕・测试 |
| AMAT & EBARA | PC（研磨载具）齿轮・传动系 | 维修・更换 |
| EBARA CMP | DDF3 模块 | 大修・维修 |
可根据需求扩展至其他 CMP 模块及其他工艺设备。
重点对应
驱动・主轴电机・PC 齿轮・DDF3
AMAT Reflexion LK
研磨盘・载具头・修整器驱动电机
EBARA F-REX300X／300S2
顶环・转盘・修整器电机系列
PC 齿轮・DDF3
传动系维修・更换，DDF3 大修
自有设备
维修与加工集中在同一据点
核心能力
- CMP・CVD・ETCH 零部件维修拆解・更换零件・台架测试大修
- 电机・流量计・电源驱动电机・流量控制器・电源再生
- 非标零件加工按图加工金属・树脂・陶瓷零件
- 设备改造现有设备改造・升级
测试・返修设备
泵分析台・PCB 级返修・功能测试系统 ― 所有维修品出货前全数验证。
成熟的 CMP 维修・大修实绩
案例
研磨头齿轮总成大修流程
AMAT LK／Reflexion 系列研磨头齿轮总成的典型大修流程。
1来料检查・故障诊断
2拆解・清洗
3更换零件
4功能・负载测试
5研磨垫磨合・QC
更换零件
谐波减速器・摆动轴承・摆动／旋转电机・油封
验证项目
摆动・旋转电流／扭矩・原点传感器计数・研磨垫磨合趋势
维修品验证・测试能力
测试项目
- 功能・负载测试
- 原点传感器计数测试
- 压力・泄漏测试
- 研磨垫磨合模拟
所有维修品均在专用测试台验证后出货。
CMP 核心部件
CMP 核心部件翻新再生
- 零部件供应・再生・维修研磨头・主轴・机械手・驱动器・旋转接头・齿轮箱
- 设备服务安装・再生・维修・定期保养・改造
设备改造
CMP 设备改造・智能化
- 1压力检测・数据采集・自动报警（EBARA）
- 2DIW・药液泄漏检测（AMAT／EBARA）
- 3药液流量监控・自动报警
- 4排气自动风门控制
- 5自清洁系统（设备自动清洗）
- 6温度检测・自动报警（AMAT／EBARA）
- 7CCTV 摄像头设备监控（AMAT／EBARA）
- 8定制浆料歧管
- 9定制端口服务器电源
- 10研磨头主轴罩・浆料箱内置・UPA 移位
从机构设计到供液系统，按客户与设备全面定制。
ESC ｜ 静电吸盘
静电吸盘（ESC）解决方案
用于刻蚀・离子注入・HDPCVD 的 300mm ESC
- OEM 兼容 2nd source兼容 LAM 刻蚀、SMIT 离子注入、AMAT HDPCVD 各平台
- 新品供应・翻新再生相比 OEM 降低成本、缩短交期
- 全数验收检测逐台验证吸附力・平面度・泄漏・绝缘
- 同时提供 CVD 加热器AMAT Producer 系列加热器
- 技术支持选型・安装・售后跟进
ESC 对应料号（节选）
| 工艺 | OEM | 机型 | 料号 | 尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo | 839-019090-324 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo | 839-019090-328 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo 45 | 839-019090-374 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo EX | 839-019090-611 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo CX | 839-019090-608 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Kiyo FX | 839-019090-620 / -632 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex 45 | 839-800327-432 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex DX/DS | 839-800327-438 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex ES/EL | 839-019090-577 | 300mm |
| 工艺 | OEM | 机型 | 料号 | 尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| ETCH | LAM | 2300 Flex GX/GXE | 839-800327-525 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Flex HX+ | 839-102001-136 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Syndion FS | 839-800327-304 | 300mm |
| ETCH | LAM | 2300 Versys Metal | 839-800327-315 | 300mm |
| IMP | SMIT | MC3-II / GP | 11F5793 | 300mm |
| IMP | SMIT | S-UHE | 11G8756 | 300mm |
| HDPCVD | AMAT | Ultima | 0040-48594 | 300mm |
| HDPCVD | AMAT | Ultima | 0040-18219 | 200mm |
仅列出部分料号，其他料号欢迎咨询。
刻蚀・离子注入・HDPCVD ― 全新 2nd source 及翻新品，质保 12 个月，交期 20〜60 天。
ESC 验收标准
| 检测项目 | 规格 |
|---|---|
| 吸附力 | ≥ 2,000 gf/cm² @ 2,000 VDC |
| 表面平面度 | ≤ 10 μm |
| 泄漏率 | ≤ 0.5 mTorr·L/s |
| 绝缘电阻（电极间） | ≥ 20 GΩ·cm |
| 绝缘电阻（电极–基座间） | ≥ 20 GΩ·cm |
| 静电容量 | ≥ 3 nF（±0.5） |
CVD 加热器
AMAT Producer GT：0010-59798 · 0010-59788
AMAT Producer：0010-53901（300mm）
所有出货品均附验收检测报告。
零部件供应
精密密封件・O 型圈
用于 CMP・刻蚀・CVD 腔体的高性能氟橡胶 O 型圈／密封件，按 OEM 料号逆向开发。
| OEM 料号 | 品名 | 尺寸(mm) |
|---|---|---|
| 734-061280-014 | O-ring AS014 | 12.42 × 1.78 |
| 734-007524-284 | O-ring AS284 | 456.06 × 3.53 |
| 734-046356-329 | O-ring AS329 | 50.17 × 5.33 |
| 734-046356-226 | O-ring P50 | 49.70 × 3.50 |
| 734-021063-238 | O-ring AS238 | 88.49 × 3.53 |
| 734-021063-277 | O-ring AS277 | 291.69 × 3.53 |
| 3700-06977 | O-ring AS130 | 40.94 × 2.62 |
代表型号。所有产品附材质・尺寸检验报告。
材质・等级
特点
- 按 OEM 料号逆向工程开发
- 耐等离子・耐化学材料
- 尺寸 ø10mm〜ø450mm 以上
- 可定制材质与尺寸
- 交期约 8 周
耗材
Si・SiC 耗材
| 类别 | OEM | 品名 | 料号 |
|---|---|---|---|
| Si | LAM | Polished OUE | 716-082039-233 |
| Si | LAM | Polished OUE | 716-082039-235 |
| Si | TEL | Ring, focus 380-T4.0 | 3D10-202489-61 |
| Si | TEL | Electrode, outer DC2 EXT | 2L10-501683-61 |
| SiC | LAM Kiyo | EX top ring 4.5T | 716-089795-124 |
| SiC | LAM Kiyo | Top ring 4.19T | 716-086795-123 |
| SiC | TEL MK4 | Focus ring 3.95T | 1D99-190810-11 |
- 刻蚀・CVD 用 Si 部件喷淋头・Si 环・CSR，Si 熔接晶舟・管・底座
- CVD SiC 聚焦环／边缘环大部分 SiC 部件可逆向开发
金属・离子注入・石墨部件
对应离子注入设备
- AMAT VIISta 900XP
- AMAT VIISta Trident / XP / XP2
- AMAT VIISta HC · MC · HE
- AMAT VIISta MEHD2
- Axcelis Purion H · XE · M
- Nissin Exceed 2000AH / 3000AH
石墨 W-001 ― 主要特性
- 密度
- 1.91 g/cm³
- 电阻率
- 12 μΩm
- 灰分
- 0.0005 %
- 导热系数
- 105 W/mK
真空・厂务设备
真空泵・阀门・冷水机服务
干泵
主流系列大修与供应 ― Edwards iH／iXH／iQL、Ebara ESA／ESR／EV、Alcatel A／ADS／ADP、Busch。
分子泵・阀门
STP 分子泵维修、摆阀大修、真空阀维修（含检漏）。
冷水机
压缩机冷水机、热交换器、热电冷水机，定制冷却方案。
湿法・测试
湿法工艺部件・测试硬件
湿法刻蚀 ― 旋转基座大修
- 拆解・检查
- 水平・偏心・动平衡・电阻检测
- 维修・SOP 组装
- 标准・高温 SPM・背面清洗各类型
可视化管理与作业员签字，全工序可记录・可追溯。
测试・可靠性硬件
- 用于 HTOL／HAST 可靠性测试的存储器老化板
- 负载板・探针卡
- 自有 PCB 复制技术制作 EM 插座 DUT
品质
从材料到出货 ― 品质与可追溯性
- 1材料
- 2精密加工
- 3清洗
- 4组装（SOP）
- 5检验
- 6出货验证
SOP 标准化作业
可视化管理与作业员签字，保证组装品质。
四大检测
水平・偏心・动平衡・电阻全数检测。
全程可追溯
检验记录集中管理，可追溯至表单与作业员。
出货附检验报告 ― 满足全球主要晶圆厂的品质要求。
选择理由
为什么选择 29TECH
熊本本地快速响应
依托熊本总部与阿苏自有工厂，快速响应主要晶圆厂。
全球生产体系
在日本及亚洲据点一体化完成加工・再生・组装・检验。
成熟的 CMP 技术
研磨头・电机・PC 齿轮・机械手均经测试台验证。
零部件覆盖面广
ESC・密封件・Si／SiC・金属・离子注入・真空・测试硬件。
逆向工程
按 OEM 料号重新设计制造磨损件・长交期件。
可追溯的品质
SOP 作业・全数检验・随货附检验报告。
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生产基地：大连・韩国・马来西亚・新加坡 ｜ 业务据点：新竹（台湾） ｜ 母公司：WUER TECH（新加坡）