二九TECH株式会社
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全球半導體設備服務

半導體製造設備零部件・維護・改造

從熊本走向亞洲。CMP・蝕刻・CVD・離子佈植・真空系統，從零部件供應到維修、改造，依託大連・韓國・馬來西亞・新加坡生產基地一站式服務。

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CMP 研磨・分析台
300mm 靜電吸盤
研磨頭總成
自有精密加工
  • 總部熊本
  • 熊本工廠阿蘇（籌建中）
  • 生產基地大連・韓國・馬來西亞・新加坡
  • 業務據點新竹（台灣）
  • 母公司WUER TECH（新加坡）

對應工藝

CMP · ETCH · CVD · Implant

主要 OEM

AMAT · EBARA · LAM · SMIT

全球據點

亞洲 6 個國家・地區

在地響應

熊本市・阿蘇市

公司概況

立足熊本的半導體設備合作伙伴

29TECH 提供半導體製造設備的零部件供應、維護、維修與改造服務。結合熊本在地響應與亞洲生產基地，實現短交期、高品質。

項目內容
公司名稱二九TECH株式会社（29TECH）
成立2025年9月
注冊資本506 萬日元
法人編號4330001033565
總部〒860-0802 日本熊本縣熊本市中央區中央街4-22 アルバ銀座通りビル
熊本工廠日本熊本縣阿蘇市的石字鬢搔1537番1（籌建中）
生產基地大連・韓國・馬來西亞・新加坡
業務據點新竹（台灣）
母公司WUER TECH（新加坡）
業務領域半導體製造設備零部件供應・維護・維修・改造／精密零件加工・貿易

主要晶圓廠工程師經驗

TSMCMicronIntel亞洲主要晶圓廠
對應工藝
CMP · ETCH · CVD · Implant
主要 OEM
AMAT · EBARA · LAM · SMIT
在地響應
熊本市・阿蘇市

業務領域

六大業務，一個窗口

01

CMP 維修・大修

研磨頭、驅動馬達、PC 齒輪與機械手臂 ― AMAT Reflexion LK／Mirra、EBARA F-REX300X／300S2。

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設備改造・智慧化

漏液、流量、溫度監控，自動清洗，漿料供給系統訂製，設備搬遷。

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ESC・加熱器

用於 LAM 蝕刻、離子佈植、HDPCVD 的 300mm 靜電吸盤 ― 全新 2nd source 及翻新品。

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精密密封件・O 型圈

用於 CMP、蝕刻、CVD 腔體的 FFKM／FKM 密封件，對應 OEM 料號。

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真空・廠務設備

乾式泵・分子泵大修，擺閥・真空閥維修，冷水機。

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耗材・精密加工

Si／SiC 環、金屬零件、離子佈植用 W／Mo／石墨，金屬・樹脂・陶瓷訂製加工。

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全球網絡

以熊本為據點，在亞洲一體化生產

日本在地服務，亞洲生產網絡。以一個窗口支援全球半導體供應鏈。

熊本總部・工廠（阿蘇）大連生產基地韓國生產基地馬來西亞生產基地新竹業務據點（台灣）新加坡生產基地・母公司 WUER TECH

據點示意圖（比例不準確）

1

總部

熊本（日本）

〒860-0802 日本熊本縣熊本市中央區中央街4-22 アルバ銀座通りビル

銷售・技術・客戶窗口

2

熊本工廠

阿蘇（熊本）

日本熊本縣阿蘇市的石字鬢搔1537番1（籌建中）

維修・重工・零件加工 ― 就近服務熊本晶圓廠

3

生產基地

大連・韓國
馬來西亞
新加坡

一體化生產：加工・再生・組裝・檢驗

4

業務據點

新竹（台灣）

台灣地區業務開發與客戶支援

5

母公司

WUER TECH

新加坡

關鍵零部件・材料全球採購

日本客戶由熊本就近服務；量產在大連・韓國・馬來西亞・新加坡基地快速擴產，台灣新竹業務據點負責業務與支援。

熊本工廠（阿蘇市）外觀 ※整修後效果圖
熊本工廠（阿蘇市）外觀 ※整修後效果圖

熊本工廠 ― 籌建中

正在熊本・阿蘇籌建自有工廠

日本熊本縣阿蘇市的石字鬢搔1537番1

規劃功能

  • 維修・重工CMP・蝕刻・CVD 部件的拆解・大修・台架測試
  • 加工・組裝・檢驗精密零件在熊本完成精加工與驗證
  • 快速在地支援與熊本市總部聯動對應

CMP 服務

CMP 服務範圍

可維修 CMP 驅動馬達、研磨載具齒輪及模組 ― 維護需求最高的領域。

設備模組／部件服務
AMAT Reflexion LK研磨盤・載具頭・修整器驅動馬達維修・重繞・測試
EBARA F-REX300X頂環・轉盤・修整器驅動馬達維修・重繞・測試
EBARA F-REX300S II頂環・轉盤・修整器驅動馬達維修・重繞・測試
AMAT & EBARAPC（研磨載具）齒輪・傳動系維修・更換
EBARA CMPDDF3 模組大修・維修

可根據需求擴展至其他 CMP 模組及其他工藝設備。

研磨頭總成
研磨頭總成

重點對應

驅動・主軸馬達・PC 齒輪・DDF3

AMAT Reflexion LK

研磨盤・載具頭・修整器驅動馬達

EBARA F-REX300X／300S2

頂環・轉盤・修整器馬達系列

PC 齒輪・DDF3

傳動系維修・更換，DDF3 大修

自有設備

維修與加工集中在同一據點

CMP 研磨・分析台
CMP 研磨・分析台
訂製工藝設備
訂製工藝設備

核心能力

  • CMP・CVD・ETCH 零部件維修拆解・更換零件・台架測試大修
  • 馬達・流量計・電源驅動馬達・流量控制器・電源再生
  • 非標零件加工按圖加工金屬・樹脂・陶瓷零件
  • 設備改造現有設備改造・升級
泵分析・PCB 重工・功能測試
泵分析・PCB 重工・功能測試

測試・重工設備

泵分析台・PCB 級重工・功能測試系統 ― 所有維修品出貨前全數驗證。

成熟的 CMP 維修・大修實績

研磨頭總成大修
研磨頭總成大修
驅動・主軸馬達維修
驅動・主軸馬達維修
PC 齒輪維修（8"／12"）
PC 齒輪維修（8"／12"）
伺服馬達大修
伺服馬達大修
晶圓傳送機械手臂維修
晶圓傳送機械手臂維修
自有精密加工
自有精密加工

案例

研磨頭齒輪總成大修流程

AMAT LK／Reflexion 系列研磨頭齒輪總成的典型大修流程。

  1. 來料檢查・故障診斷

    1來料檢查・故障診斷

  2. 拆解・清洗

    2拆解・清洗

  3. 更換零件

    3更換零件

  4. 功能・負載測試

    4功能・負載測試

  5. 研磨墊磨合・QC

    5研磨墊磨合・QC

更換零件

諧波減速器・擺動軸承・擺動／旋轉馬達・油封

驗證項目

擺動・旋轉電流／扭矩・原點感測器計數・研磨墊磨合趨勢

維修品驗證・測試能力

CMP 研磨頭壓力測試機
CMP 研磨頭壓力測試機
馬達電流・扭矩測試機
馬達電流・扭矩測試機
研磨墊磨合 ― 即時趨勢監控
研磨墊磨合 ― 即時趨勢監控
0.25–0.4 A旋轉電流規格（LK）
0.55–0.7 A擺動電流規格（LK）

測試項目

  • 功能・負載測試
  • 原點感測器計數測試
  • 壓力・洩漏測試
  • 研磨墊磨合模擬

所有維修品均在專用測試台驗證後出貨。

CMP 核心部件

CMP 核心部件翻新再生

研磨頭・HCLU・PC 基座與頭・主軸
研磨頭・HCLU・PC 基座與頭・主軸
MKS・Mirra／Reflexion 機械手臂・研磨頭馬達與驅動器
MKS・Mirra／Reflexion 機械手臂・研磨頭馬達與驅動器
旋轉接頭・PADCOND 基座／DDF3・齒輪箱
旋轉接頭・PADCOND 基座／DDF3・齒輪箱
  • 零部件供應・再生・維修研磨頭・主軸・機械手臂・驅動器・旋轉接頭・齒輪箱
  • 設備服務安裝・再生・維修・定期保養・改造

設備改造

CMP 設備改造・智慧化

  1. 1壓力檢測・資料擷取・自動報警（EBARA）
  2. 2DIW・藥液洩漏檢測（AMAT／EBARA）
  3. 3藥液流量監控・自動報警
  4. 4排氣自動風門控制
  5. 5自清潔系統（設備自動清洗）
  6. 6溫度檢測・自動報警（AMAT／EBARA）
  7. 7CCTV 攝影機設備監控（AMAT／EBARA）
  8. 8訂製漿料歧管
  9. 9訂製端口服務器電源
  10. 10研磨頭主軸罩・漿料箱內置・UPA 移位
AMAT 漿料箱內置／UPA 移位
AMAT 漿料箱內置／UPA 移位

從機構設計到供液系統，按客戶與設備全面訂製。

ESC ｜ 靜電吸盤

靜電吸盤（ESC）解決方案

吸附面
吸附面
基座側
基座側
300 mm晶圓尺寸
12 個月保固期
20〜60 天交期

用於蝕刻・離子佈植・HDPCVD 的 300mm ESC

  • OEM 兼容 2nd source兼容 LAM 蝕刻、SMIT 離子佈植、AMAT HDPCVD 各平台
  • 新品供應・翻新再生相比 OEM 降低成本、縮短交期
  • 全數驗收檢測逐台驗證吸附力・平面度・洩漏・絕緣
  • 同時提供 CVD 加熱器AMAT Producer 系列加熱器
  • 技術支援選型・安裝・售後跟進

ESC 對應料號（節選）

工藝OEM機型料號尺寸
ETCHLAM2300 Kiyo839-019090-324300mm
ETCHLAM2300 Kiyo839-019090-328300mm
ETCHLAM2300 Kiyo 45839-019090-374300mm
ETCHLAM2300 Kiyo EX839-019090-611300mm
ETCHLAM2300 Kiyo CX839-019090-608300mm
ETCHLAM2300 Kiyo FX839-019090-620 / -632300mm
ETCHLAM2300 Flex 45839-800327-432300mm
ETCHLAM2300 Flex DX/DS839-800327-438300mm
ETCHLAM2300 Flex ES/EL839-019090-577300mm
工藝OEM機型料號尺寸
ETCHLAM2300 Flex GX/GXE839-800327-525300mm
ETCHLAM2300 Flex HX+839-102001-136300mm
ETCHLAM2300 Syndion FS839-800327-304300mm
ETCHLAM2300 Versys Metal839-800327-315300mm
IMPSMITMC3-II / GP11F5793300mm
IMPSMITS-UHE11G8756300mm
HDPCVDAMATUltima0040-48594300mm
HDPCVDAMATUltima0040-18219200mm

僅列出部分料號，其他料號歡迎洽詢。

蝕刻・離子佈植・HDPCVD ― 全新 2nd source 及翻新品，保固 12 個月，交期 20〜60 天。

ESC 驗收標準

檢測項目規格
吸附力≥ 2,000 gf/cm² @ 2,000 VDC
表面平面度≤ 10 μm
洩漏率≤ 0.5 mTorr·L/s
絕緣電阻（電極間）≥ 20 GΩ·cm
絕緣電阻（電極–基座間）≥ 20 GΩ·cm
靜電容量≥ 3 nF（±0.5）

CVD 加熱器

AMAT Producer GT：0010-59798 · 0010-59788
AMAT Producer：0010-53901（300mm）

300mm ESC ― 基座側
300mm ESC ― 基座側

所有出貨品均附驗收檢測報告。

零部件供應

精密密封件・O 型圈

用於 CMP・蝕刻・CVD 腔體的高性能氟橡膠 O 型圈／密封件，按 OEM 料號逆向開發。

OEM 料號品名尺寸(mm)
734-061280-014O-ring AS01412.42 × 1.78
734-007524-284O-ring AS284456.06 × 3.53
734-046356-329O-ring AS32950.17 × 5.33
734-046356-226O-ring P5049.70 × 3.50
734-021063-238O-ring AS23888.49 × 3.53
734-021063-277O-ring AS277291.69 × 3.53
3700-06977O-ring AS13040.94 × 2.62

代表型號。所有產品附材質・尺寸檢驗報告。

材質・等級

FFKMFKM耐電漿耐高溫真空用

特點

  • 按 OEM 料號逆向工程開發
  • 耐電漿・耐化學材料
  • 尺寸 ø10mm〜ø450mm 以上
  • 可訂製材質與尺寸
  • 交期約 8 周

耗材

Si・SiC 耗材

噴淋頭・Si 環・CSR・基座・晶舟・噴射器・管與底座
噴淋頭・Si 環・CSR・基座・晶舟・噴射器・管與底座
類別OEM品名料號
SiLAMPolished OUE716-082039-233
SiLAMPolished OUE716-082039-235
SiTELRing, focus 380-T4.03D10-202489-61
SiTELElectrode, outer DC2 EXT2L10-501683-61
SiCLAM KiyoEX top ring 4.5T716-089795-124
SiCLAM KiyoTop ring 4.19T716-086795-123
SiCTEL MK4Focus ring 3.95T1D99-190810-11
蝕刻腔體內的 CVD SiC 環
蝕刻腔體內的 CVD SiC 環
  • 蝕刻・CVD 用 Si 部件噴淋頭・Si 環・CSR，Si 熔接晶舟・管・底座
  • CVD SiC 聚焦環／邊緣環大部分 SiC 部件可逆向開發

金屬・離子佈植・石墨部件

金屬零件・噴淋頭
金屬零件・噴淋頭
鎢・鉬離子佈植部件
鎢・鉬離子佈植部件
石墨離子佈植部件
石墨離子佈植部件

對應離子佈植設備

  • AMAT VIISta 900XP
  • AMAT VIISta Trident / XP / XP2
  • AMAT VIISta HC · MC · HE
  • AMAT VIISta MEHD2
  • Axcelis Purion H · XE · M
  • Nissin Exceed 2000AH / 3000AH

石墨 W-001 ― 主要特性

密度
1.91 g/cm³
電阻率
12 μΩm
灰分
0.0005 %
導熱系數
105 W/mK

真空・廠務設備

真空泵・閥門・冷水機服務

分子泵維修 ― Edwards STP 系列
分子泵維修 ― Edwards STP 系列
擺閥一站式大修
擺閥一站式大修

乾式泵

主流系列大修與供應 ― Edwards iH／iXH／iQL、Ebara ESA／ESR／EV、Alcatel A／ADS／ADP、Busch。

分子泵・閥門

STP 分子泵維修、擺閥大修、真空閥維修（含測漏）。

冷水機

壓縮機冷水機、熱交換器、熱電冷水機，訂製冷卻方案。

濕法・測試

濕法工藝部件・測試硬體

濕法蝕刻 ― 旋轉基座大修

單片式旋轉基座
單片式旋轉基座
  • 拆解・檢查
  • 水平・偏心・動平衡・電阻檢測
  • 維修・SOP 組裝
  • 標準・高溫 SPM・背面清洗各類型

可視化管理與作業員簽字，全工序可記錄・可追溯。

測試・可靠性硬體

負載板
負載板
燒機板
燒機板
EM 插座 DUT
EM 插座 DUT
  • 用於 HTOL／HAST 可靠性測試的記憶體燒機板
  • 負載板・探針卡
  • 自有 PCB 複製技術製作 EM 插座 DUT

品質

從材料到出貨 ― 品質與可追溯性

  1. 1材料
  2. 2精密加工
  3. 3清洗
  4. 4組裝（SOP）
  5. 5檢驗
  6. 6出貨驗證

SOP 標準化作業

可視化管理與作業員簽字，保證組裝品質。

四大檢測

水平・偏心・動平衡・電阻全數檢測。

全程可追溯

檢驗記錄集中管理，可追溯至表單與作業員。

出貨附檢驗報告 ― 滿足全球主要晶圓廠的品質要求。

選擇理由

為什麼選擇 29TECH

01

熊本在地快速響應

依託熊本總部與阿蘇自有工廠，快速響應主要晶圓廠。

02

全球生產體系

在日本及亞洲據點一體化完成加工・再生・組裝・檢驗。

03

成熟的 CMP 技術

研磨頭・馬達・PC 齒輪・機械手臂均經測試台驗證。

04

零部件覆蓋面廣

ESC・密封件・Si／SiC・金屬・離子佈植・真空・測試硬體。

05

逆向工程

按 OEM 料號重新設計製造磨損件・長交期件。

06

可追溯的品質

SOP 作業・全數檢驗・隨貨附檢驗報告。

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從零部件供應到維修、改造 ― CMP・ETCH・CVD・離子佈植・真空系統相關需求，歡迎隨時洽詢。

總部

〒860-0802
日本熊本縣熊本市中央區中央街4-22 アルバ銀座通りビル
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熊本工廠（籌建中）

日本熊本縣阿蘇市的石字鬢搔
1537番1
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✉ komatsu.nk.tng@gmail.com ☎ 090-4230-7434

生產基地：大連・韓國・馬來西亞・新加坡　｜　業務據點：新竹（台灣）　｜　母公司：WUER TECH（新加坡）